የሲሊኮን ካርቢድ ካንቴለርስ መቅዘፊያ
የምርት ዝርዝር እና አተገባበር
የተስተካከለ አፈፃፀም ፣ በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ የማይዛባ እና በትላልቅ የፍራፍሬ መጫኛ ኃይል ውስጥ ትልቅ የ Wafer ጭነት ኃይል ሲሊኮን ካርበይድ SiSiC / SiC cantilever paddle / beam ለሮቦት አውቶማቲክ ጭነት እና አያያዝ ስርዓት ተስማሚ ነው ፡፡ የ “cantilever paddle” ክፍል ምንም ዓይነት ለውጥ ሳይኖርበት የተረጋጋ ስለሆነ አሁን ያሉትን የእቶን ቱቦዎች በመጠቀም መጠነ ሰፊ ዋልታ ማድረግ ይቻላል ፡፡ ትልቅ የላጣ መጫኛ ኃይል ሲሊኮን ካርቦይድ ሲሲሲ / ሲ ሲ ካንቲልቨር ቀዘፋ / ጨረር ከ LPVCD ሽፋን ጋር ተመሳሳይ በሆነ የሙቀት መስፋፋትን መጠን መሠረት ለ LPVCD ሊተገበር ይችላል ፣ ይህም የጥገና እና የጽዳት ዑደትን በእጅጉ የሚያራዝም እና ብክለትን በከፍተኛ ሁኔታ የሚቀንስ ነው ፡፡
የምላሽ ቴክኒካዊ መለኪያዎች የታሰሩ ሲሊኮን ካርቦይድ RBSIC:
| ንጥል | አሃድ | መረጃ |
| የትግበራ ሙቀት | ℃ | 1380 |
| ጥግግት | ገ / ሴሜ 3 | > = 3.02 |
| ክፍት porosity | % | <0.1 |
| የሞህ የጥንካሬ ሚዛን | 13 | |
| የማጠፍ ጥንካሬ | ኤምፓ | 250 (20 ℃) |
| ኤምፓ | 280 (1200 ℃) | |
| የመለጠጥ ሞዱል | ግፓ | 330 (20 ℃) |
| ግፓ | 300 (1200 ℃) | |
| የሙቀት ማስተላለፊያ | W / mk | 45 (1200 ℃) |
| የሙቀት መስፋፋት Coefficient | K-1 * 10-6 | 4.5 |
| አሲድ-ተከላካይ አልካላይን | በጣም ጥሩ |
ዋና መለያ ጸባያት:
ሀ. በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ አይበላሽም እና የዊፋው የመጫኛ ኃይል ትልቅ ነው;
ለ. በጣም ጥሩ የሙቀት መከላከያ ድንጋጤ እና ረጅም የአገልግሎት ሕይወት;
ሐ. የካንቲቲቭ መቅዘፊያ የሙቀት መስፋፋቱ መጠን በጣም ትንሽ ነው ፣ ይህም የጥገና እና የጽዳት ዑደትን በእጅጉ ያራዝመዋል ፤
እና ብክለትን በከፍተኛ ሁኔታ ይቀንሱ
በሲሊኮን ካርቦይድ ሴራሚክ የተሠሩ ሌሎች የእቶን ምድጃዎች
ለዋይት ጭነት ምላሽ ከሚሰጥ የሲሊኮን ካርበይድ SiSiC cantilever paddle በተጨማሪ እኛ RBSIC / SISIC የሲሊኮን ካርቦይድ ጨረሮችን ፣ የአፍንጫ ቧንቧዎችን ፣ የሽብል ማዞሪያ ቧንቧን ፣ ሽክርክሪት አፍንጫን ፣ ኦክሳይድን የተሳሰሩ የ SIC ሲሊኮን ካርቦይድ ድብደባዎችን / setter plate እና RBSIC የማቀዝቀዣ ቧንቧዎችን እናገኛለን ፡፡ .
ተከላካይ የ RBSIC / SISIC ሲሊኮን ካርቦይድ ምርቶችን ይልበሱ
የእኛ የ RBSIC / SISIC ሲሊኮን ካርቦይድ ምርት በጣም ጥሩ የመልበስ መቋቋም ፣ የዝገት መቋቋም እና ረጅም የአገልግሎት ሕይወት ጥቅሞች ስላሉት በቀላሉ ቧንቧዎችን ወይም አውሎ ነፋሶችን በማቀነባበር ውስጥ በቀላሉ ሊጫኑ በሚችሉ የመልበስ ተከላካዮች ላይ ሊሠራ ይችላል ፡፡
